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在直流溅射中，在靶和待涂覆的基板之间施加几百伏的直流电压，因此它也被称为直流电压溅射。
靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。
该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。
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吴泰来（17世纪），字履受，江西瑞州府新昌县天宝乡人，明朝政治人物。
吴泰来是崇祯元年进士吴甘来的长兄，在天启七年（1627年）兄弟两人同中顺天府乡试举人，崇祯四年（1631年）成辛未科进士，工部观政，五年获授南京太常寺博士，十年（1637年）转为行人，册封益王朱慈𤆃时拒绝接受餽金。
其后吴泰来迁官礼部主事、员外郎，外任福建督学时北京失陷，原本打算脱下佩带自尽，适逢儿子吴家仪带来兄长劝说侍奉母亲的遗言；他呼喝儿子离去，但儿子和家人包围他，才令他打消自尽念头。李自成曾拷掠他，任命他为礼知府从事，他绕道走回家服侍母亲，母亲死后庐墓三年，含恨而死，遗命以朝服殓葬。
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